详细介绍
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参数 | 项目 |
EC-ABL-200 |
-300 |
-400 |
-500 |
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电机类型 |
有铁芯直线电机 |
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光栅分辨率 |
默认0.1um（可选模拟量，最高1nm） |
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电机推力 |
持续90N/峰值190N |
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加速度（空载） |
5G |
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行程 [mm] |
100 |
200 |
300 |
400 |
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重复定位精度 [um] |
≤±0.2um（如选配5nm光栅，最高可达±50nm） |
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定位精度 [um] |
2um/100mm （校准后可小于0.5um/100mm） |
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平面度 [um] |
≤±0.4 |
≤±0.5 |
≤±0.7 |
≤±0.8 |
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直线度 [um] |
≤±0.5 |
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最大速度 [mm/s] |
1000(取决于驱动器及行程) |
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最大负载 [kg] |
10kg |
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关键词:
吉萤光电
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