EC-ABL-X 系列(经济型磁力预载系列)一维气浮运动平台

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详细介绍

 

参数 | 项目

ABLE340-500

-1000

-1500

-2000

电机类型

有铁芯直线电机

光栅分辨率

默认0.1um(可选模拟量,最高1nm)

电机推力

持续550N/峰值1100N

加速度(空载)

5G

行程 [mm]

500

1000

1500

2000

重复定位精度 [um]

≤±0.3um(如选配5nm光栅,最高可达±50nm)

定位精度 [um]

2um/100mm (校准后可小于0.5um/100mm)

平面度 [um]

≤±0.5

≤±1

≤±1.2

≤±2

直线度 [um]

≤±0.5/200mm

最大速度 [mm/s]

3000(取决于驱动器及行程)

最大负载 [kg]

200kg

 

关键词:

吉萤光电

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