ABRX-M200气浮转台直驱气浮转台

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详细介绍

 

规格

参数

电机扭矩

0.7Nm额定 2.7Nm峰值

最大转速

1000rpm

编码器线数

15744line

编码器分辨率

0.41sec(数字量对应0.1um,可选1Vpp更高分辨率)

重复定位精度

≤±1sec

轴向最大负载(5bar)

1200N

径向最大负载(5bar)

350N

轴向最大刚性(5bar)

480N/um

径向最大刚性(5bar)

160N/um

轴向最大跳动*

<100nm

径向最大跳动*

<100nm

综合耗气量

25NL/min

 

关键词:

吉萤光电

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