详细介绍
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技术参数 |
可达指标 |
单位 |
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自由度数（X、Y、Z,RX、RY、RZ） |
6 |
DOF |
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载荷能力 |
垂向≤5 横向≤2.5 |
kg |
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运动行程指标 （单轴运动） |
线性位移X/Y/Z |
±18/±18/±10 |
mm |
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角位移RX/RY/RZ |
±10，±10，±20 |
° |
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分辨率 |
位移分辨率X/Y/Z |
0.2 |
μm |
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转角分辨率RX/RY/RZ |
0.5 |
arcsec |
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重复定位精度 |
位移重复精度X/Y/Z |
±0.3 |
μm |
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角位移重复精度RX/RY/RZ |
±0.5 |
arcsec |
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速度 |
平移速度 X/Y/Z |
10 |
mm/s |
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转动速度RX/RY/RZ |
2 |
deg/s |
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质量 |
3 |
kg |
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控制要求 |
工作电压 |
220 |
V |
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工作电流 |
0.5 |
A |
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关键词:
吉萤光电
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