详细介绍
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参数 | 项目 |
X轴（上轴） |
Y轴（下轴） |
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电机类型 |
双直线电机驱动 |
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光栅分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可选绝对值或更高分辨率） |
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电机推力 |
持续60N/峰值210N |
持续120N/峰值420N |
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最小步长[nm] |
50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) |
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行程 [mm] |
330 |
330 |
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重复定位精度 [um] |
±0.25 |
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定位精度 [um] |
±1（干涉仪校准） |
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平面度 [um] |
≤±2.5um |
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直线度 [um] |
≤±1.5um |
≤±2um |
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最大速度 [mm/s] |
1000 |
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最大加速度[g]空载 |
1.5g（上轴）1g（下轴） |
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最大负载 [kg] |
30 |
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关键词:
吉萤光电
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