详细介绍
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参数 | 项目 |
NF240-Z100 |
NF240-Z200 |
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电机类型 |
双直线电机驱动 |
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光栅分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） |
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电机推力 |
持续60N/峰值210N |
持续120N/峰值420N |
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最小步长[nm] |
50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) |
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行程 [mm] |
100 |
200 |
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重复定位精度 [um] |
±150nm |
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定位精度 [um] |
±300nm（干涉仪校准） |
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平面度 [um] |
≤±2.5um |
≤±3.5um |
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直线度 [um] |
1.5um |
2um |
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最大速度 [mm/s] |
300mm/s |
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最大负载 [kg] |
25kg(采用气动恒力弹簧平衡) |
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关键词:
吉萤光电
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