详细介绍
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参数 | 参数 |
U1LM200-100 |
-200 |
-300 |
-400 |
-500 |
-600 |
-800 |
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有效行程 [mm] |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
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光栅分辨率 [nm] |
100nm（数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp模拟量 |
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重复定位精度 [nm] |
≤±0.5um |
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定位精度 |
未校准±4um/100mm （校准后可小于±1.5um） |
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直线度 [um] |
±1.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4 |
±5 |
±6.5 |
±8 |
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平面度 [um] |
±1.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4 |
±5 |
±6.5 |
±8 |
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电机推力 |
持续132N/峰值232N |
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最大速度 |
2m /s |
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最大加速度(空载) |
3G |
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移动部分负载 |
6.5kg |
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水平负载 [kg] |
40kg |
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侧面负载 [kg] |
20kg |
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关键词:
吉萤光电
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