详细介绍
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规格 |
XY轴 |
θXθY轴 |
Z轴 |
θZ轴 |
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有效行程 |
±30mm |
±2.5deg |
±5mm |
360deg |
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电机类型 |
直线电机 |
步进电机 |
步进电机 |
直驱电机 |
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光栅分辨率 |
4.88nm（1vpp） |
4.88nm（1vpp） |
4.88nm（1vpp） |
0.04sec |
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最小步长 |
100nm |
0.3sec |
100nm |
0.1sec |
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重复定位精度 |
±0.2um |
±1sec |
±0.3um |
±1sec |
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定位精度 |
±1um |
±5sec |
±1um |
±5sec |
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最大速度 |
100mm/s |
30deg/sec |
15mm/s |
4rps |
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最大负载 |
水平负载10kg，垂直使用负载请联系厂家沟通 |
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最大质量 |
整机重量12kg |
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PS:
1、以上所有精度都为厂家标准控制器在实验室环境中理想条件测试所得
2、接受特殊型号及尺寸定制
关键词:
吉萤光电
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