详细介绍
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运动参数 |
指标 |
单位 |
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承载 |
100 |
kg |
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X 、Y、Z向的行程 |
±50、±50、±25 |
mm |
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θX、θY、θZ向上的行程 |
±15、±15、±30 |
° |
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X、Y、Z向上的最小位移 |
0.5 |
μm |
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θX、θY和θZ向上的最小位移 |
3 |
μrad |
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重复精度X ,Y, Z |
±1 |
μm |
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重复精度θX , θY, θZ |
±5 |
μrad |
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X 、Y向的刚度 |
3 |
N/μm |
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Z向的刚度 |
100 |
N/μm |
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工作温度 |
-10~+50 |
℃ |
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电机类型 |
无刷直流电机 |
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传感器类型 |
绝对式编码器 |
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关键词:
吉萤光电
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