详细介绍
XYZ一体式组合
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参数 | 项目 |
LMT-XY-200X200 |
NFZ10 |
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电机类型 |
三相无铁芯电机 |
音圈电机 |
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光栅分辨率 |
默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率） |
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电机推力 |
持续60N/峰值210N |
持续30N/峰值90N |
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最小步长[nm] |
200nm |
200nm |
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行程 [mm] |
200x200 |
10 |
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重复定位精度 [um] |
±0.3 |
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定位精度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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平面度 [um] |
10um |
8um |
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直线度 [um] |
1um |
1.5um |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
50mm/s |
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最大负载 [kg] |
5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） |
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关键词:
吉萤光电
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