详细介绍
|
规格 |
参数 |
|
Z轴最大行程 |
±5mm |
|
Z轴分辨率 |
4.88nm |
|
Z轴重复定位精度 |
±0.2um |
|
位置稳定性 |
±20nm |
|
最大速度 |
5mm/s |
|
最大加速度 |
2m/s |
|
θX/θY 最大行程 |
±2.5° |
|
θ轴分辨率 |
0.15sec |
|
θ轴重复定位精度 |
±1sec |
|
最大速度 |
1°/s |
|
最大加速度 |
20°/s^2 |
|
配重平衡方式 |
气动衡力平衡（最小气压0.1MPa 最大气压0.6MPa） |
|
最大负载 |
20kg |
关键词:
吉萤光电
下一页：
在线询价
服务热线：
量身定制各种光电行业产品及方案
