详细介绍
| 产品型号：MWA06系列 | ||
| 结构描述 | 产品型号 | MWA06-50135H |
| 台面尺寸 | 135*135mm（M6均布） | |
| 外形尺寸 | 220×202×225mm | |
| 驱动方式 | 测微头 | |
| 驱动位置 | 侧向驱动 | |
| 导轨形式 | 交叉滚柱导轨 | |
| 自重 | 1.5kg | |
| 材料 | 硬铝 | |
| 表面处理 | 阳极氧化发黑 | |
| 直线+角位 | 每一维都具备刻线 | |
| 精度描述 | 刻度 | ≥10μ/0.5μ |
| 精度 | 3μ/1.5μ | |
| XY分辨率 | 0.001mm | |
| Z分辨率 | 0.005mm | |
| 角度+旋转 | 0.005° | |
| 调整量 | ≥2μ/0.1μ | |
| 承载 | 15kg | |
| 直线度 | 2μ | |
| 偏摆 | 25” | |
| 俯仰 | 15” | |
| 台面平行度 | 15μ | |
| 运动平行度 | 7μ | |
| 位移方向 | X:50mm | |
| Y:50mm | ||
| Z:15mm | ||
| θx:12° | ||
| θy:12° | ||
| θz：360° | ||
关键词:
吉萤光电
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