UMS130-X 系列(超高精度直线电机平台)

一维直线电机运动平台

所属分类:

详细介绍

 

参数\型号

UMS130-60X

-110X

-160X

电机类型

三相无铁芯电机

光栅类型

增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配)

电机推力

额定40N 峰值90N

加速度(空载)

3G

2.5G

2G

限位类型

机械、光电、软件(三重限位保护)

材质

铝合金6061-T6(可选不锈钢)

行程 mm

60

110

160

定位精度 um

±3um(校准±0.5um)

重复定位精度 um

±0.1um(±50nm 对应5nm以上光栅)

最大速度 mm/s

300mm/s

最大负载 kg

6

8

12

 

关键词:

吉萤光电

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