详细介绍
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静止状态 |
工作状态 |
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最小负载 |
径向 |
300N |
150N |
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轴向 |
1200N |
600N |
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翻转 |
30Nm |
15Nm |
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最小刚性 |
径向 |
80N/um |
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轴向 |
230N/um |
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翻转 |
0.3Nm/urad |
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同步运动误差 |
径向 |
100nm |
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轴向 |
100nm |
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翻转 |
1urad |
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质量 |
整体 |
9300g |
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转子 |
3300g |
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转动惯量 |
0.005kg·m2 |
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最大转速 |
7,500rpm |
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最大耗气量 |
23SLPM |
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测试气压：0.7MPa
关键词:
吉萤光电
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