详细介绍
左一：普通版 右一：陶瓷版
陶瓷版本采用了高纯度的氧化铝作为气浮结构件及导向原件，相对于花岗岩和金属而言，氧化铝陶瓷具有膨胀系数更小，且直线度、硬度、耐磨性更加的优点。
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参数 | 项目 |
普通版本 |
陶瓷版本 |
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电机类型 |
三相无铁芯电机 |
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光栅分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） |
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上轴电机推力[N] |
持续90N 峰值315N |
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下轴电机推力[N] |
持续219N*2 峰值750N*2 |
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上轴空载加速度[g] |
4.5G |
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上轴空载加速度[g] |
3G |
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最小步长[nm] |
10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) |
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行程 [mm] |
360x360 |
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重复定位精度 [um] |
±0.15 |
±0.1 |
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定位精度 [um] |
±0.5 |
±0.3 |
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平面度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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直线度 [um] |
1.5 |
1 |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
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最大负载 [kg] |
50kg |
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关键词:
吉萤光电
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