详细介绍
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项目｜参数 |
参数 |
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电机类型及驱动方式 |
2相步进电机+精密滚珠丝杆 |
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丝杆导程 |
2mm |
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行程 |
110mm x 110mm |
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重复定位精度 |
≤±1.5um |
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定位精度 |
≤±5um（可补偿到±2um） |
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最小步长 |
0.1um |
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平面度[um] |
≤±4 |
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直线度[um] |
≤±2 |
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正交性[arcsec] |
≤±3 |
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最大速度[mm/s] |
≥30 |
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最大负载[kg] |
≥10 |
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结构件材质及表面处理 |
铝合金硬质阳极氧化 |
关键词:
吉萤光电
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