精巧型三轴组合真空位移台：VA22EZHXYZ2015

※ XY平移台采用进口精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝对定位精度好，轴向间隙小，寿命长；
※ 导轨采用高精度交叉滚柱导轨，运动舒适，承载大，适合单轴或多轴组合使用；
※ 精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高；
※ 升降台系采用交叉滚珠导轨，保证运动平稳,承载大，寿命长；
※ 采用精密研配丝杠驱动，运动舒适，可以任意升降且空回极小；
※ 真空步进电机和丝杆通过高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小。
※ 电动升降台平放使用，可与其他种类台子组成多维电动调整台；

所属分类：

真空组合位移台

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详细介绍

产品型号：VA22EZHXYZ2015
结构描述	真空度	≤10-4pa（低于此真空度皆可使用）
	负载台面尺寸	60mm
	X、Y轴行程	20mm
	Z轴行程	15mm
	平移传动方式	THK导轨；TBI丝杆；丝杆导程：1mm
	升降传动方式	1/2楔形，研磨丝杆，螺距1mm
	主要材质	高强度航空铝材（7075）
	主要材质表面处理	真空使用不氧化外观；二次精磨
精度描述	中心负载	2kg
	分辨率8细分/整步	0.000625mm/0.005mm
	速度	≤2mm/sec
	XY轴重复定位精度	≤3μm
	Z轴重复定位精度	≤10μm
	电机类型	35真空步进电机
	电机线	聚醚乙胺线
	电机步进角	1.8°
	额定工作电流	1A
	电源电压	24V±10%
	限位开关	光电开关