三轴低真空组合台： VA22EZH03200

※ 平移台采用进口精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝对定位精度好，轴向间隙小，寿命长；
v ※ 导轨采用高精度精密线性滑块导轨，运动舒适，承载大，适合单轴或多轴组合使用；
※ 精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高；
※ 真空步进电机和丝杆通过高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小。

所属分类：

真空组合位移台

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详细介绍

产品型号：VA22EZH03200
结构描述	真空度	10-3pa（低于此真空度皆可使用）
	负载台面尺寸	120*120mm
	X轴行程	250mm
	Y、Z轴行程	150mm
	传动方式	TBI丝杆；丝杆导程：4mm
	导轨	精密线性滑块导轨
	Z轴中心负载	20Kg
	主要材质	高强度航空铝材（7075）
	电机类型	42真空步进电机
	电机线	聚醚乙胺线
	电源电压	24V±10%
	限位开关	光电开关
	表面处理	真空使用不氧化外观；二次精磨或阳极氧化黑
精度描述	速度	≤30mm/sec
	XY轴重复定位精度	≤±5μm
	表面跳动	≤15μm