精密型真空两维电动平移台:VA22EZH10250

※ 平移台采用进口精密滚珠螺杆驱动,重复定位精度和绝对定位精度好,轴向间隙小,寿命长;
※ 导轨采用高精度精密线性滑块导轨,运动舒适,承载大,适合单轴或多轴组合使用;
※ 精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆,使运动的直线度和平行度有较大提高;
※ 真空步进电机和丝杆通过高品质弹性联轴节连接,传动同步,消偏性能好,大大降低了偏心扰动且噪音小。

所属分类:

详细介绍

产品型号:VA22EZH10250

结构

描述

真空度 10-4pa(低于此真空度皆可使用)
负载台面尺寸 120*120mm
X轴行程 50mm
Y轴行程 50mm
传动方式 TBI丝杆;丝杆导程:4mm
导轨 精密线性滑块导轨
中心负载 30Kg
主要材质 高强度航空铝材(7075)
表面处理 真空使用不氧化外观;二次精磨
电机类型 57真空步进电机
电机线 聚醚乙胺线
电源电压 24V±10%
限位开关 光电开关

精度

描述

速度 ≤40mm/sec
XY轴重复定位精度 ≤3μm
表面跳动 ≤15μm

 

关键词:

吉萤光电

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