详细介绍
| 产品型号：EWZ101XY50 | ||
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结构 描述 |
组合方式 | X、Y |
| 行程 | 50mm | |
| 自重 | 3kg | |
| 电机 | 真空步进电机 | |
| 真空温度 | 常温 | |
| 润滑脂 | 真空润滑油脂 | |
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精度 描述 |
设计分辨率 | 0.125μm |
| 运动平行度 | ＜5μm | |
| 俯仰 | 10″（50μrad） | |
| 重复定位精度 | ＜±2.5μm | |
| 运动直线度 | ＜±3μm | |
| 偏摆 | 10″（50μrad） | |
| 最高速度 | 5mm/sec | |
| 负载 | 0-15kg | |
| 真空度 | 10-3pa—10-5pa | |
关键词:
吉萤光电
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